自动扫描显微镜,全自动显微镜,海德星,精密运动,精密定位,压电马达,压电直线马达,自动化设备, 压电显微镜平台

海德星科技有为某大型芯片公司开发的芯片缺陷自动检测设备近日投入使用。该设备采用直线电机、音圈电机和伺服电机多轴混合控制系统，实现了高速、高精度的分拣，在90%的良率时可达到20000UPH。